指示灯亮起。
激光器预热。
物镜系统对焦。
精密工件台开始移动。
报警声响起。
红灯闪烁。
“工件台位移偏差!”林峰大喊。
“停机!”钱院士下令。
断电。
排查。
一查就是三天。
原来是传动轴的阻尼系数不对。
改。
再通电。
光源功率不稳。
再停机。
再排查。
反反复复。
折腾了整整一个月。
机器从一开始的暴躁,慢慢变得顺从。
各项参数,越来越接近设计值。
终于,到了最后一步。
点火测试。
这天,整个实验室全员到齐。
没人说话。
空气发紧。
控制室里,一排排显示器闪烁着绿光。
钱院士坐在主控台前。
尤里·伊万诺夫站在他旁边。
两人盯着屏幕上的数据。
一条条核对。
“冷却系统,正常。”
“气压系统,正常。”
“物镜模组温度,恒定。”
“激光器能量输出,准备就绪。”
尤里报完最后一项数据,看向钱院士。
钱院士点点头。
他拿起通讯器。
“红旗同志,准备好了。”
观察窗外。
张红旗站得笔直。
他看着玻璃那头,那台庞然大物。
银灰色的外壳。
错综复杂的管线。
这是用钱,用命,用智慧,硬生生砸出来的怪物。
他没说话,只是对着通讯器,回了一个字。
“点。”
钱院士的手指,按下了那个红色的按钮。
机器内部,发出一声低沉的嗡鸣。
激光器启动。
一束肉眼看不见的深紫外光,穿过复杂的透镜组。
经过高精度物镜的折射。
精准地打在下方的硅片上。
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控制室里,所有显示器上的数据,疯狂跳动。
尤里死死盯着屏幕。
钱院士的手心全是汗。
十秒。
二十秒。
三十秒。
光束稳定。
工件台平稳移动。
曝光完成。
硅片被机械臂送出。
林峰冲上去,把硅片放进电子显微镜。
所有人围了过去。
屏幕上,显现出清晰的线条。
边缘锐利。
没有毛刺。