第1142章 最精密的学问

文化部后院。

一间不对外开放的会客室。

窗外是几竿翠竹,屋里只有两杯清茶。

钱院士坐在红木圈椅里,腰杆挺得笔直。

他看着对面的张红旗。

“那份报告,我看过了。”

老头声音不高,每个字都砸在桌上。

“写得很好,很有远见。”

“但是。”

老头话锋一转。

“光有远见,没用。”

“半导体,光子学,这是硬骨头,是天底下最精密的学问。”

“不是靠钱,靠想象力,就能搞出来的。”

他盯着张红旗的眼睛,一字一顿地问。

“你,一个拍电影的。”

“懂这些吗?”

这个问题,很尖锐。

甚至有点不留情面。

张红旗没接话。

他从随身的公文包里,拿出一张纸。

一张折叠起来的A3大小的绘图纸。

纸张边缘已经有些毛糙。

张红旗把纸,在桌上摊开。

推到钱院士面前。

那是一张手绘的草图。

用铅笔画的线条清晰,标注密集。

钱院士低头看去。

只一眼,他的目光就定住了。

图上画的是一个极其复杂的机器结构。

分成了四个核心模块。

张红旗的手指,在图上轻轻点过。

“光源。”

“物镜系统。”

“掩膜台。”

“硅片台。”

钱院士的呼吸,停了一下。

他当然认得出来这是什么。

这是光刻机的核心架构。

但让他心惊的不是这个架构图本身。

而是图上那些密密麻麻的手写的标注。

全是英文和德文的缩写,夹杂着公式和参数。

“光源:LPP-EUV,功率要求大于250W,能量转换效率大于5%。”

“物镜:13片非球面反射镜,材料,ULE玻璃,表面粗糙度小于0.1纳米。”

“掩膜台:磁悬浮,同步运动精度小于2纳米。”

钱院士的眼睛,越瞪越大。

这些参数,每一个,都像一颗子弹。

精准地打在他几十年的科研认知上。

国内现在连DUV都还在理论摸索阶段。

这张图,直接跳到了EUV。

而且,给出的指标,比他从国外老同学那里听到的最前沿的实验室数据,还要激进,还要精确。

这根本不是一份方案。

这是一份来自未来的施工图纸。

钱院士的手,下意识地伸过去。

想要抚摸那张图纸。